전기철도용 집전판 응용을 위한 스퍼터링 방법으로 증착되어진 티타늄이 첨가된 나노결정 탄소 박막의 특성

초록

전기철도용 집전판 응용을 위하여 제안한 Ti를 포함한 나노결정 탄소박막 (nc-C:Ti)은 비대칭 마그네트론 스퍼터링 (unbalanced magnetron sputtering, UBM)장치를 사용하여 제작하였다.탄소박막의 전도성과 물리적 특성 향상을 위한 방안으로 기판에 온도를 인가하였고, 기판의 증착온도에 따라 제작되어진 박막의 물리적 특성과 전기적 특성들을 고찰하였다.기판의 증착온도의 탄소 박막내에 클러스터의 형성을 증가시키고,그 크기 또한 증가시켰으며,물리적인 특성인 경도와 탄성계수를 증가시켰다.또한 기판의 증착 온도의 증가에 따라 박막의 전도성은 향상되어 결과적으로 박막이 형성되는 동안 기판의 온도 향상은 탄소 원자들의 결합력을 향상시켜 탄소 클러스터를 형성하는 주된 요인이 되며,물리적 특성과 전기적 특성을 향상시키는 원인이 된다.