비대칭 마그네트론 스퍼터링 방법으로 기판 온도에 따라 증착되어진 TiC 박막의 트라이볼로지 특성

초록

전기철도용 집전판 응용을 위하여 Ti를 폼함한 탄소(TiC)박막은 비대칭 마그네트론 스퍼터링 (unbalanced magnetron sputtering, UBM) 장치를 사용하여 제작하였다. TiC 박막의 전도성과 트라이볼로지 특성을 향상시키기 위하여 TiC 박막 성장시 기판에 온도를 인가하였으며, 기판 증착온도에 따라 제작되어진 TiC 박막의 트라이볼로지 특성과 전기적 특성들을 고찰하였다. 증착시 기판온도의 증가는 탄소 박막내에 클러스터의 형성을 증가시키고, 그 크기 또한 증가시켰으며, 트라이볼로지 특성인 경도와 탄성계수를 증가시켰다. 또한 기판온도의 증가에 따라 박막의 전기적 전도 특성은 향상되어 결과적으로 박막이 형성되는 클러스터를 형성하는 주된 요인이 되며, 물리적 특성과 전기적 특성을 향상시키는 원인이 된다.