전기철도 집전판용 스퍼터링되어진 텅스텐 나노결정 탄소박막 특성에 대한 연구

초록

전기철도 집전판 펜터그래프에 응용을 위하여 흑연 (graphite)과 텅스텐(Tungsten; W) 타겟이 양쪽에 부착되어 있는 비대 칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 W이 도핑되어진 탄소박막 (WC)을 증착하였다. 흑연 타겟의 파워는 고정하고 W 타겟 파워를 증가 시켜 탄소 박막내에 W의 함량을 증가시켰으며, W 금속 함량에 따른 탄소박막의 경도와 탄성계수, 표면의 거칠기, 접촉각 등의 물리적 특성 과 비저항 등 전기적 특성을 고찰하였다. 또한 XPS와 라만등을 이용하 여 WC 박막의 구조적 특성을 고찰하였다.