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초록
본 연구에서는 폴리머 애자의 자가세정 코팅을 위한 소재로써 TiO2 박막을 실리콘과 유리, 폴리머애자 기판위에 증착하였다. TiO2 박막은 TiO2 세라믹 타겟이 부착된 RF 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 증착하였다. TiO2 박막은 스퍼터링의 다양한 공정조건 중 RF 파워의 크기에 따라 100 nm의 두께로 증착하였다. RF 파워에 따라 증착되어진 TiO2 박막의 접촉각, 표면거칠기등 표면 특성을 확인하였으며, UV-visible등 광학적 특성을 고찰하여, 구조적 특성과의 관계를 고찰하였다.
키워드
TiO2; RF 마그네트론 스퍼터링; 폴리머애자; 접촉각; 표면거칠기; TiO2; RF magnetron sputtering; Polymer insulator; Contact angle; Surface roughness
- 제목
- 폴리머 애자 코팅을 위한 스퍼터링 되어진 TiO2 박막의 특성
- 제목 (타언어)
- Characteristics of Sputtered TiO2 Thin Films for Coating of Polymer Insulator
- 저자
- 박용섭; 정호성; 박철민; 박영; 김형철
- 발행일
- 2012-05
- 권
- 21
- 호
- 3
- 페이지
- 158 ~ 163
- 언어
- KOR
- 출판사
- 한국진공학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 6 페이지
- ISSN
- E 2288-6559
P 2288-6559