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초록
본 연구에서는 TiO2 세라믹 타겟이 부착된 비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여 TiO2 박막을 증착하였으며 증착되어진 TiO2 박막의 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성을 고찰하였다. 광촉매 특성으로는 표면 접촉각 분석을 통하여 고찰하였으며, 트라이볼로지 특성으로는 경도, 잔류응력, 마찰계수, 표면 거칠기 등을 평가하였다. 또한 XRD, FESEM 분석등 구조분석을 통하여 광촉매 특성과 트라이볼로지 특성등과의 연관성을 규명하였다.
- 제목
- 마그네트론 스퍼터링 장치로 제작된 TiO2 박막의 광촉매, 트라이볼로지 특성
- 저자
- 박철민; 정호성; 박영; 이재형; 박용섭
- 발행일
- 2013-06-14
- 학회명
- 2013 한국전기전자재료학회 하계학술대회
- 개최지
- 여수
- 개최국가
- 대한민국
- 학회 개최일
- 2013-06-19 ~ 2013-06-21
- 언어
- KOR